PTHC系列低溫液冷機

簡(jiǎn)要描述：PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。

產(chǎn)品型號：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2024-06-18
訪(fǎng) 問(wèn) 量：413

詳情介紹

PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。控制系統采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過(guò)機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿(mǎn)足工藝條件。

設備控溫范圍：-80℃~200℃

Chuck盤(pán)面控制溫度：-60℃

溫度穩定性：±0.1℃

制冷系統：采用雙極壓縮制冷系統

定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機

參數看清楚

型號

設備名稱(chēng)
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統
介質(zhì)溫度范圍
溫度精度
溫度穩定性
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護

液冷制冷機

PTHC系列低溫液冷機
雙級復疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡(jiǎn)便、顯示直觀(guān)，可顯示、記錄溫度曲線(xiàn)和測試數據
氟化液或硅油
管道材質(zhì)：SUS304，采用全密閉式結構設計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設備導熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度、出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤(pán)溫度
設備導熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測溫傳感器端口、USB數據接口
試驗執行時(shí)，可實(shí)時(shí)顯示圖形曲線(xiàn)，顯示內容；溫度設定實(shí)際值，執行程序周期，程序執行中具有跳文件，保持功能。
風(fēng)冷
設備運行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，故障信息自動(dòng)診斷，多項報警保護：電源故障，壓縮機過(guò)載、循環(huán)泵熱過(guò)載、制冷低壓報警、制冷高壓報警、超溫、溫度模塊故障、電加熱防干燒設計等保護功能。