PTHC系列低溫液冷機
簡(jiǎn)要描述:PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。
- 產(chǎn)品型號:
- 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間:2024-06-18
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PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。控制系統采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過(guò)機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿(mǎn)足工藝條件。
設備控溫范圍:-80℃~200℃
Chuck盤(pán)面控制溫度:-60℃
溫度穩定性:±0.1℃
制冷系統:采用雙極壓縮制冷系統
定制:可按要求定制-60℃液冷制冷機
參數看清楚
型號
設備名稱(chēng)
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統
介質(zhì)溫度范圍
溫度精度
溫度穩定性
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護
液冷制冷機
PTHC系列低溫液冷機
雙級復疊制冷
7英寸彩色觸摸屏,中文顯示,操作簡(jiǎn)便 、顯示直觀(guān), 可顯示 、記錄 溫度曲線(xiàn)和測試數據
氟化液或硅油
管道材質(zhì):SUS304,采用全密閉式結構設計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設備導熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ,控晶圓測試chuck盤(pán)溫度
設備導熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測溫傳感器端口 、USB數據接口
試驗執行時(shí), 可實(shí)時(shí)顯示圖形曲線(xiàn), 顯示內容;溫度設定實(shí)際值,執 行程序周期,程序執行中具有跳文件,保持功能。
風(fēng)冷
設備運行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示,故障信息自動(dòng)診斷, 多項報警保護: 電源故 障 ,壓縮機過(guò)載 、循環(huán)泵熱過(guò)載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設計等保護功能。
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